Glossário para leitores laser

Erro de Abbe

O erro de Abbe ocorre quando o eixo do leitor está deslocado do eixo de trabalho. Se a mesa inclina ou gira, o movimento da peça é diferente da leitura do leitor . Para um deslocamento de d e uma inclinação da mesa de θ, o erro de deslocamento de Abbe será: Erro de Abbe = d × seno θ.

Exatidão

A exatidão é um termo quantitativo que descreve o grau de concordância entre o valor medido em um objeto e o seu valor verdadeiro (alvo ou referência).

Divisor de feixe

Um divisor de feixe é um dispositivo óptico que divide um feixe de luz em dois ou mais componentes. Ele é a peça principal da maioria dos sistemas de interferômetro.

Compensação

O processo de modificação do sinal de saída da posição de um leitor para corrigir erros de posição.

Interferência construtiva

A interferência construtiva ocorre quando duas ondas de luz de fase e freqüência similares são combinadas para formar um feixe resultante de intensidade mais brilhante do que cada um dos feixes individuais. (Ver também interferência destrutiva).

Interferência destrutiva

A interferência construtiva ocorre quando duas ondas de luz de freqüência similar mas fase oposta são combinadas para formar um feixe resultante de intensidade menos brilhante do que o feixe individual mais intenso. (Ver também interferência construtiva).

Frequência

A freqüência é o número de vezes que um evento repetido ocorre por unidade de tempo. A freqüência é calculada medindo o tempo entre duas ocorrências consecutivas de um evento (período) e sem seguida computando a freqüência como o recíproco deste tempo. O resultado é medido em hertz (Hz), f = 1/T.

Medindo a frequência do som, ondas eletromagnéticas (tais como rádio ou luz), sinais elétricos ou outras ondas, a freqüência em hertz é o número de ciclos da forma de onda repetitiva por segundo. A frequência tem um relação inversa com o conceito do comprimento de onda. A frequência f é igual à velocidade v da onda dividida pelo comprimento de onda λ (lambda) da onda: f = v/λ.

Estabilidade de frequência

Uma medida da variação da frequência laser.

No ar

É um espaço tridimensional cheio de ar na atmosfera.

Interferência

A interferência é a sobreposição de duas ou mais ondas resultando em um novo padrão de onda. Como mais comumente usado, o termo geralmente se refere à interferência de ondas que estão correlacionadas ou coerentes uma com a outra, seja porque provêm da mesma fonte ou porque têm a mesma ou quase a mesma frequência (Ver também interferência construtiva, interferência destrutiva)

Interpolação

A interpolação é um método de construção de novos pontos de dados a partir de um conjunto discreto de pontos de dados conhecidos. No controle de posição, usualmente isto consiste em tomar um sinal de posição analógico e dividí-lo por um fator fixo para produzir um sinal digital discreto.

Interpolador

Um interpolador é um dispositivo eletrônico que subdivide um sinal de posição analógico e o converte em uma contagem digital discreta com base no fator de interpolação utilizado. Por exemplo, um interpolador 4096 utilizado em um sinal analógico com um período de 158 nm produzirá um resultado com uma resolução de 38,6 picômetros.

Lissajous

O lissajous é um método de exibir sinais de SENO e COS. Ele combina os sinais utilizando álgebra triangular em uma forma circular. Com o avanço do esquema de processamento de sinais, as propriedades matemáticas de um ponto preciso no círculo representam muitas características da operação do interferômetro, tais como intensidade do sinal e a posição em um ponto no tempo.

OEM

Fabricante do Equipamento Original é uma empresa que fabrica uma peça ou um subsistema que é utilizado no produto final de uma outra empresa.

Fase

A fase de uma onda relaciona a posição de uma característica com a mesma característica em outra parte da forma da onda (ou, o que dá no mesmo, em outra forma de onda). A fase pode ser medida como tempo, distância, fração do comprimento de onda ou ângulo.

Quadratura

Um termo utilizado para descrever um sinal de posição serial digital transmitido mediante duas linhas e indica a posição em cada mudança da borda. Estas mudanças de borda ocorrem em intervalos de fase de 90º, assim são necessárias 4 transições de borda para percorrer 360º. Como resultado, isto é chamado de quadratura por indicar 4 pontos. Muitas vezes chamado de AQuadB para indicar a utilização de uma linha A e B na saída do sinal. Este sinal é geralmente AQuadB RS422 e é um protocolo serial padrão para o feedback de posição do leitor. Também pode ser usado para definir os sinais de seno e cosseno que se diz estarem em "quadratura de fase".

Índice de refração

O índice de refração é a relação entre a velocidade da luz no ar e a velocidade da luz em um meio refrativo para um determinado comprimento de onda. Ele representa a propriedade de propagação do ar, correlacionada com as condições tais como temperatura, umidade relativa e pressão do ar.

Resolução

A resolução de um leitor é o menor incremento de distância que ele pode detectar e transmitir para um receptor apropriado.

Erro Subdivisional (SDE)

É um erro não cumulativo geralmente causado pela não circularidade do Lissajous.

Vácuo

O vácuo é um espaço tridimensional do qual o ar foi parcialmente ou completamente retirado. Existem três níveis de vácuo:

• Baixo vácuo - 1 Torr a 1 mTorr
• Médio vácuo - 1 mTorr a 10 μTorr
• Alto vácuo - 1 μTorr a 10 nTorr
• Vácuo ultra alto - menos que 1 nTorr

Onde: 1 Torr = 133,322 Pascal. 1 pressão atmosférica (pressão ao nível do mar) = 101,325 KPa = 760 Torr

Comprimento de onda

O comprimento de onda é a distância entre as unidades de repetição de um padrão de onda. Normalmente ele é designado pela letra grega lambda (λ). Em uma onda senoidal, o comprimento de onda é a distância entre dois picos. O comprimento de onda λ tem uma relação inversa com a frequência f, o número de picos que passam por um ponto em um tempo determinado. O comprimento de onda é igaul à velocidade da onda dividido pela frequência da onda.