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Interferômetro de espelho plano RLD10

Interferômetros de espelho plano adequados para aplicações de base XY.

Os cabeçotes detectores RLD10 contêm os elementos ópticos do interferômetro, um exclusivo sistema de detecção de difusão multicanal, obturador de laser e alinhador de laser integrado. As variantes de 0° e 90° do cabeçote detector RLD10 estão disponíveis.

Recursos e benefícios

  • Soluções de eixo duplo - sistemas de espelho plano de eixo duplo são a solução ideal para aplicações de base XY.
  • Alta resolução - sistemas de espelho plano também podem ser usados em aplicações em que uma resolução mais alta seja necessária em comparação com os sistemas de retrorrefletor.
  • Ambientes sensíveis - os cabeçotes detectores de interferômetro de espelho plano também estão disponíveis como variante de baixa potência. Adequado para aplicações que requerem uma dissipação de energia inferior à especificada de < 2 W da norma RLD10.
Cabeçotes detectores RLD com espelhos

Especificações

Curso do eixo0 m a 1 m
Resolução (configurada com RLU)

Quadratura analógica = λ/4 (158 nm)
Quadratura digital = 10 nm
Resolução RPI20 = 38,6 pm

Erro de não linearidade do sistema* (SDE)

*exclui a interface

<±2,5 nm abaixo de 50 mm/s com intensidade de sinal >70%
<±7,5 nm a 1 m/s com intensidade de sinal >50%
Rotação máximaAté 1 m/s


Em aplicações sem vácuo, alguma forma de compensação do índice de refração é necessária para manter a exatidão em condições ambientais variáveis. A Renishaw oferece o sistema de compensação em tempo real em quadratura RCU10 para compensar estas variações.

Resoluções de até 38,6 picômetros podem ser alcançadas integrando uma interface paralela RPI20 ao sistema RLE. Essa interface aceita sinais analógicos de 1 Vpp seno/cosseno e oferece uma saída em formato paralelo. Para mais informações sobre nossos acessórios, consulte o sistema de compensação RCU10 e as interfaces de leitor laser.

Informações sobre produtos

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