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Interferômetro diferencial RLD10

Interferômetros diferenciais permitem uma medição relativa a uma referência definida.

O cabeçote diferencial é projetado com um esquema óptico exclusivo a fim de permitir um baixo desempenho de SDE. Alinhadores integrados de feixe permitem um ajuste de angularidade vertical e horizontal durante a configuração, o que incrementa o processo de alinhamento (somente adequado para aplicações de espelho plano).

O cabeçote detector RLD10-X3-DI foi projetado para ser montado na parede externa de uma câmara de processo através de uma fixação simples de três pinos. Não é necessário entrar na câmara para alinhar o cabeçote detector - sistemas integrados de alinhamento do feixe permitem o ajuste independente da inclinação e rotação dos feixes de referência e medição - e o projeto do sistema de montagem permite que o cabeçote detector seja removido e reposicionado com efeito mínimo sobre o alinhamento do sistema.

Recursos e benefícios

  • Metrologia excepcional - estabilidade de frequência ppb e erro cíclico ultra reduzido, permitindo resoluções de saída de até 38,6 pm.
  • Configurações diferenciais - medem a posição relativa da base em relação à coluna e, assim, eliminam erros de modo comuns, como a movimentação da parede lateral da câmara associada a flutuações ambientais.
  • Alinhamento rápido - alinhamento simples, por fora da câmara de vácuo, utilizando quatro sistemas de alinhamento de feixe integrados para contornar as tolerâncias de montagem da câmara e espelho.

Especificação

Curso do eixo0 m - 1 m
Resolução (resolução configurada com RLU)Quadratura analógica = λ/4 (158 nm)
Quadratura digital = 10 nm
Resolução RPI20 = 38,6 pm

Erro de não linearidade do sistema* (SDE)

*exclui a interface

<±1 nm abaixo de 50 mm/s com intensidade de sinal >70%
<±6 nm a 1 m/s com intensidade de sinal >50%
Rotação máximaAté 1 m/s
O cabeçote detector do interferômetro diferencial é frequentemente configurado com um Renishaw RLU20. A alta estabilidade da fonte de laser RLU20, combinada com o desempenho do cabeçote de interferômetro diferencial, é a escolha ideal para medições em câmaras de vácuo e outros ambientes estritamente controlados.

Informações sobre produtos

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